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ASML阿斯麦签约无锡,升级光刻设备技术服务基地

5月14日,微信公众号无锡发布发布消息,全球芯片制造设备巨头阿斯麦(ASML))公司与无锡高新区签署战略合作协议,在无锡高新区内扩建升级阿斯麦光刻设备技术服务(无锡)基地(下称“基地”)。

图片来源:微信公众号无锡发布

报道指出升级后的基地涵盖两大业务板块:拥有近200人规模专业团队的技术中心,将从事光刻设备的维护、升级等技术服务;面积约2000余平方米的供应链服务中心,将为客户提供高效的供应链服务,为设备安装,升级及生产运营等所需的物料提供更高水准的物流支持。

“无锡是我们的福地。”签约仪式上,阿斯麦公司全球副总裁、中国区总裁沈波介绍,阿斯麦早在2006年就已在无锡开展业务,阿斯麦公司目前在无锡的服务物流中心,规模和面积在全国领先。

据了解,此前阿斯麦已经在北京、上海、深圳、无锡等地开设分公司,为客户提供的服务和咨询,其中深圳是其在亚洲最大的软件研发中心。

图片来源:阿斯麦官网

极紫外(EUV)光刻机的唯一供应商

光刻机是半导体制造领域的核心设备之一,阿斯麦公司是全球技术水平最高、影响力最大的光刻设备供应商,也是全球最先进极紫外(EUV)光刻机的唯一供应商。

在美国牵头的《瓦森纳协定》(Wassenaar Arrangement)的影响下,阿斯麦高端光刻设备的对华出口格外受到关注。

2018年5月,《日经亚洲评论》曝料称,中国芯片加工企业中芯国际已向阿斯麦订购了一台最先进的EUV光刻机,价值1.2亿美元,预计2019年年初交货。

当时,阿斯麦发言人回应表示,对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁,且向中国出售极紫外光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。

但这一交易始终没有完成,2019年11月6日,《日本经济评论》最先报道了相关交易因许可证问题被推迟发货的消息,并认为ASML成为美国政府压力下的“牺牲品”。

当时阿斯麦发言人摩尔斯回应,“延迟发货”仅为媒体猜测,阿斯麦已经申请了新的许可证,仍在等待获批。

今年3月6日,中芯国际深圳厂区曾到货一台荷兰进口大型光刻机,当时中芯国际向观察者网证实:属常规设备导入,并非外界所关心的极紫外光刻机。

极紫外光刻机作为现今最先进的芯片制造设备,是唯一能够生产7nm以下制程的设备,因此也被称为“突破摩尔定律的救星”。

阿斯麦报告显示,今年的一季度,他们共接到了客户的73台光刻机订单,其中11台是极紫外光刻机。

 


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